题 目：氮化硅陶瓷基板制备及其金属化研究
作 者：王铃沣1,2，周泊岸3，段于森2，张景贤2
单 位：1.中国科学院大学；2.中国科学院上海硅酸盐研究所
高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室；3.上海理工大学
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